- 产地:中国
- 是否进口:否
- 品牌:CHOTEST/中图仪器
- 型号:W3
- 型号:W3-Ultra
- 用途:科学研究
- 有可授权的自有品牌:否
- 光源类型:LED光源
- 电源类型:直接电源供电(AC供电)
SuperView W3光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、高校科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
一、 产品功能
1) 样件测量能力:单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量(见附录一);
2) 单区域自动测量:单片平面样品或批量样品切换测量点位时,可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;
3) 多区域自动测量:可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位,一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;
4) 自动拼接测量;支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能,配合影像导航功能,可自定义测量区域,支持数千张图像的无缝拼接测量;
5) 编程测量功能:支持测量和分析同界面操作的软件模块,可预先配置数据处理和分析步骤,结合自动单测量功能,实现一键测量;
6) 数据处理功能:提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能;
7) 数据分析功能:提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
8) 批量分析功能:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数实现一键批量分析;
9) 数据报表导出:支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能,支持图像、数值结果的导出;
10) 故障排查功能:配置诊断模块,可保存扫描过程中的干涉条纹图像;
11) 便捷操作功能:设备配备操纵杆,支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等;
12) 环境噪声评价:具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能,定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率,为设备调试和故障排查提供定量依据;
13) 气浮隔振功能:采用气浮式隔振平台,可有效隔离地面传导的振动噪声,确保测量数据的高精度;
14) 光源安全功能:光源设置无人值守下的自动熄灯功能,当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源,防止光源高亮过热损坏,并有效延长光源使用寿命;
15) 镜头安全功能:双重防撞保护,软件ZSTOP防撞保护,设置后即以当前位置为位移下限位,不再下移且伴有报警声;设备配备压力传感器,并在镜头处进行了弹簧结构设计,确保当镜头碰撞后弹性回缩,进入急停状态,大幅减小碰撞冲击力,有效保护镜头和扫描轴,消除人为操作的安全风险。
对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
半导体.研磨减薄 |
激光镭射、光刻槽道 |
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3C电子.玻璃屏粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差 |
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光学加工.粗糙度 |
光学加工.纳米台阶 |
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精密加工.金属表面粗糙度 |
标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度 |
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